賽美 應高純PH3的混合氣體（稀釋氣體），平衡氣體可以是氫氣，或惰性的氬氣，氦氣等，磷烷濃度從數百個PPM到10%之間，氣瓶大小可以是0.5升的小氣瓶，也可以擴大到4升，8升氣瓶。