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電磁波測距儀
應用電磁波運載測距信號測量兩點間距離的儀器。測程在5～20公里的稱為中程測距儀，測程在5公里之內的為短程測距儀。精度一般為 5mm+5ppm，具有小型、輕便、精度高等特點。60年代以來，測距儀發展迅速。90年代年來，生產的雙色精密光電測距儀精度已達0.1mm+0.1ppm。電磁波測距儀已廣泛用于控制、地形和施工放樣等測量中，成倍的提高了外業工作效率和量距精度。
全站儀
根據JJG100規范，全站儀也稱為電子速測儀，由電子經緯儀、電磁波測距儀、微型計算機、程序模塊、存儲器和自動記錄裝置組成，快速進行測距、測角、計算、記錄等多功能的電子測量儀器。有整體式和組合式兩類。整體式電子速測儀為各功能部件整體組合，可自動顯示斜距、角度，自動歸算并顯示平距、高差及坐標增量，具有較高的自動化程度。組合式電子速測儀，即電子經緯儀，電磁波測距儀，計算機及繪圖設備等分離元件，按需要組合，既有較高的自動化特性，又有較大的靈活性。電子速測儀適用于工程測量和大比例尺地形測量。并能為建立數字地面模型提供解析數據，使地面測量趨于自動化，還可對活動目標做跟蹤測量，例如對于港口工程中的船舶進出港口的航跡觀測。
陀螺經緯儀
將陀螺儀和經緯儀組合在一起，用以測定真方位角的儀器。在地球上南北緯度75°范圍內均可使用。陀螺高速旋轉時，由于受地球自轉影響，其軸向子午面兩側往復擺動。通過觀測，可定出真北方向。陀螺經緯儀主要用于礦山和隧道地下導線測量的定向工作。有的陀螺經緯儀用微處理機進行控制，自動顯示測量成果，具有較高的測量精度。激光陀螺經緯儀則具有精度較高、穩定和 的特點。

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